Ultraviolet carbonsとは 意味・読み方・使い方

The ultraviolet curable resin composition contains a photopolymerization initiator having two or more structures represented by a formula (1), wherein R_1 represents a hydrogen atom or a methyl group and R_2 represents a bonding group based on one or more carbons, in one molecule.例文帳に追加

下記式（１）：［式中、Ｒ_１は水素原子またはメチル基、Ｒ_２は１個以上の炭素による連結基を表す］で表される構造を１分子中に２以上有する光重合開始剤を含有する紫外線硬化型樹脂組成物を用いること。 - 特許庁

When the pellicle, having the pellicle film and a frame, is exposed in a photolithographic process using the ultraviolet rays having the wavelength of 200 nm or shorter, the exposure is made in an atmosphere of a mixed gas containing an inert gas component, having a purity of 99.5% or more and a fluorinated hydrocarbon gas component having 3 or fewer carbons in purity of 99.5% or higher.例文帳に追加

波長２００ｎｍ以下の紫外光を用いるフォトリソグラフィ工程において、ペリクル膜とフレームとからなるペリクルを通して露光する際、９９．５％以上の純度を有する不活性ガス成分と、９９．５％以上の純度を有する炭素数３以下のフッ素化炭化水素ガス成分を混合して成る混合ガスの雰囲気下で露光することを特徴とする露光方法。 - 特許庁