film systemsとは 意味・読み方・使い方

The configuration of the take-away systems can influence final film properties in at least some instances.例文帳に追加

取出しシステムの構成は、少なくともいくつかの場合、最終フィルム特性に影響を及ぼすことができる。 - 特許庁

To provide method for increasing the accuracy and effective life of electrochemical sensor systems and film, as well as, electrochemical sensor and enzyme sensor.例文帳に追加

電気化学センサシステムおよび膜、ならびに電気化学センサおよび酵素センサの、精度および有効期間を増大させること。 - 特許庁

The thin metal films 840 and 860 are formed on substrates 25 and 125 mounted on the thin-film deposition systems 1,100 and the substrate holders 20 and 120.例文帳に追加

金属薄膜８４０、８６０は、薄膜堆積システム１、１００の基板ホルダー２０、１２０上に載せられた基板２５、１２５上に形成される。 - 特許庁

Substantially identical characteristics are attained even if the BPSG film 22 is formed using a large number of systems having an identical arrangement.例文帳に追加

これにより、同一の構成を有する多数台の装置各々を使用してＢＰＳＧ膜２２を形成しても実質的に同一の特性を示す。 - 特許庁

The moisture-free wafer W from the moisture removing equipment 4 is carried through the dry atmosphere to the film deposition systems 5 and 6.例文帳に追加

水分除去装置４で水分の除去されたウェハＷを乾燥雰囲気内を通して成膜装置５，６に搬送する。 - 特許庁

To provide a pressure measuring method and a maintenance method for gaseous starting material feed systems capable of reducing various failures caused by the solidification and retaining of a gaseous starting material in pressure measuring systems, to provide a pressure measuring method and a maintenance method for a film deposition system, to provide a vaporizer, and a film deposition system.例文帳に追加

圧力計測系における原料ガスの凝固や滞留などに起因する各種の不具合を低減できる原料ガス供給系の圧力計測方法及びメンテナンス方法、成膜装置の圧力計測方法及びメンテナンス方法、気化器、並びに、成膜装置を提供する。 - 特許庁

To provide a CVD film deposition method in which the amount of raw materials to be supplied in film deposition in a CVD system using solid or liquid raw materials is detected and controlled, to improve continuous film-deposition reproducibility, to remove difference between systems or difference between reaction chambers, and to stabilize film quality.例文帳に追加

固体または液体原料を用いるＣＶＤ装置における成膜に係わる原料供給量を検知・制御したＣＶＤ成膜方法を提供し、連続成膜再現性を向上させ、装置間差または反応室間差をなくし、膜質の安定性を実現する。 - 特許庁

In the inspection process, illuminating light having a wavelength of 400 nm or less is applied from a light source 7 to the lamination film and light from the lamination film is imaged on a CCD 24 by lens optical systems 13, 24.例文帳に追加

検査工程は、積層膜に波長４００ｎｍ以下の照明光を光源７から照射し、積層膜からの光をレンズ光学系１３，２４でＣＣＤ２４に結像させる。 - 特許庁