Deposición Por Rocío Pirolítico (Spray Pirolisis Deposition) .

Deposicin por roco piroltico (Spray pirolisis deposition).
Luis Guillermo Venegas Pineda.

Instituto Politcnico Nacional, UPIITA IPN.
luisguillermovp@gmail.com
Resumen:
En el presente documento se resume la tcnica de deposicin por roco piroltico, utilizada
para la generacin de placas delgadas de algn material empleado como soluto. De igual manera, se
explica la importancia de las distintas etapas del proceso y de cada uno de los elementos que se
requieren para obtener una placa de alta calidad.
Abstract:
The present document resumes the spray pyrolysis deposition technique, used in the
generation of thin film plaques of some material employed as solute. The importance of every
step of the process and of each one of the elements required to obtain a high quality plaque is
explained as well.
Da a da la tecnologa evoluciona y uno de los aspectos que ms

se ha mejorado en las ltimas dcadas ha sido la reduccin de tamao o
miniaturizacin de los elementos que componen los circuitos
electrnicos. Entre estos componentes se encuentran los diferentes tipos
de sensores, en particular, los sensores resistivos han cambiado de
manera drstica buscando siempre materiales con mejores propiedades
elctricas para obtener resultados de mayor calidad reduciendo el
espacio que requieran dichos dispositivos.
Los mtodos de deposicin de materiales por roco piroltico han
sido empleados para producir una gran cantidad de pelculas delgadas.
Esencialmente, se ocupa de un material a depositar, un precursor y una
capa de sustrato donde ser depositado el elemento. El precursor
servir como transporte para el elemento a depositar.
Se pueden diferenciar dos grandes ramas dentro de la deposicin
de pelculas delgadas dependiendo de la naturaleza de los procesos
utilizados; pueden ser qumicos o fsicos. Dentro de los procesos fsicos
se encuentran la deposicin fsica de vapor (PVD), ablacin lser,
epitaxia de capa atmica (ALE) y la pulverizacin catdica. En los
mtodos qumicos, (ver Figura 1), se encuentran los mtodos de
deposicin de fase gaseosa y las tcnicas de solucin.
Figura 1: Procesos qumicos de deposicin de capas delgadas.
El roco piroltico es una tcnica muy verstil y ha sido utilizada

para la produccin de capas delgadas y gruesas, revestimientos
cermicos y polvos, incluso puede ser usada para la produccin de
pelculas multicapas. Es relativamente econmica en comparacin a las
dems tcnicas de deposicin, especialmente lo referente al equipo
requerido ya que no se necesitan qumicos o soluciones de muy alta
pureza. Esta tcnica ha sido empleada por bastante tiempo en la
industria del vidrio y en la generacin de celdas solares. (Filipovic &
Steinhaur, 2013)
Entre las principales ventajas del mtodo de roco piroltico sobre
otros mtodos semejantes se encuentran:
Incorporacin semejante en un proceso CMOS.

Eficiencia econmica.
Sustratos con geometras complejas pueden ser fabricados.
Revestimientos de relativa alta calidad y homogeneidad.
El equipo tpico para el proceso consiste bsicamente en un

atomizador, la solucin del precursor, calentador del sustrato y el control
de la temperatura del mismo (ver Figura 2). Los atomizadores que son
usualmente usados trabajan a chorro de aire, por medio ultrasnico y
por electroesttica. (Perednis & Gauckler, 2005)
Figura 2: Modelo bsico de funcionamiento del roco piroltico.
Durante el proceso de deposicin por roco piroltico, el precursor

es rociado en forma de aerosol hacia el sustrato de manera intermitente,
ya que al caer una gota sobre el material se modifica su temperatura y
se requiere de un periodo de tiempo para compensar dicha diferencia.
Los componentes del precursor reaccionan para formar un nuevo
compuesto qumico en la superficie del sustrato y algunos productos
resultantes son liberados al ambiente de trabajo.
Los atomizadores generan variaciones en los resultados del
tamao de la gota, el rango de atomizacin y la velocidad inicial de la
gota. Un factor de gran importancia a considerar es precisamente la
velocidad inicial de la gota, es decir, la velocidad a la que abandona el
atomizador. Este factor tiene efectos directos sobre la velocidad a la que
llega la gota a la superficie, el calentamiento de la gota por friccin y el
tiempo que permanece la gota en movimiento.
Durante el viaje de las gotas, stas experimentan cuatro fuerzas
que modifican su trayectoria y caractersticas. Estas fuerzas son: la
fuerza gravitacional, elctrica, trmica y de Stokes.
Las propiedades y caractersticas de la capa depositada dependen
de la solucin del precursor, tanto en su composicin cualitativa como
cuantitativa, del radio de roco, la temperatura del sustrato, la atmsfera
ambiental, el gas portador, el tamao de la gota del roco y el
enfriamiento posterior a la aplicacin del precursor. El espesor de la
pelcula se ve afectado por la distancia que existe entre la boquilla del
atomizador y el sustrato, la temperatura del sustrato, la concentracin
de la composicin qumica del precursor y la cantidad de ste rociada al
sustrato.
La formacin de la capa depende de la evaporacin del solvente al

momento de que la gota rociada de precursor cae sobre la capa de
sustrato. Idealmente todo el solvente se consume o es evaporado y solo
permanece el compuesto del precursor sobre el sustrato, permitiendo as
una buena composicin. (Kaneko, Kumara, Kawasaki, & Kaneda, 2009).
Dada la basta cantidad de materiales que pueden ser procesador
por esta tcnica, el bajo costo de la misma y su facilidad de
implementacin, existe una gran gama de aplicaciones, entre las ms
destacadas se pueden mencionar la obtencin de materiales utilizados
para celdas solares a base de TiO2, CuO, CuInS2 y CuSbS2. Otra de las
posibles aplicaciones para la tcnica es la fabricacin de sensores
resistivos de capa delgada, semejantes a las galgas extensiomtricas o
las celdas de carga, con la finalidad de poder generar dispositivos de
reducido tamao con grandes propiedades elctricas. Estos ltimos
estudios se encuentran en desarrollo y an no se puede determinar el
alcance que puedan llegar a tener los sensores fabricados a partir de
esta tcnica.
Referencias:
Filipovic, & Steinhaur. (2013). Modeling Spray Pyrolysis Deposition. Londrs.
Kaneko, Kumara, Kawasaki, & Kaneda. (2009). Spray Pyrolysis Deposition for Thin-Film
Formation and Its Application to SCD study. Hamamatsu: SPD Laboratory.
Perednis, & Gauckler. (2005). Journal of Electroceramics. Holanda.: Springer Science.

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El roco piroltico es una tcnica muy verstil y ha sido utilizada

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