キヤノンがナノインプリント半導体製造装置発売－コスト減、微細化も

キヤノンは13日、消費電力が低く生産にかかるコストを低減できる「ナノインプリント」と呼ばれる新技術を搭載した製造装置を発売した。

　　発表資料によると、新装置はウエハー上のレジストに回路パターンを刻み込んだ型をハンコのように押し付けて転写することで回路を形成、光を照射して回路を焼き付ける従来の露光装置と方式が異なる。微細で複雑な回路形成が可能となり、最先端半導体の生産に貢献し、生産過程で排出する炭素の削減にもつながるという。価格は非公表。

　　キヤノンの広報担当者によると、新装置は１回で回路を形成できるため、製造工程が従来より短縮できる。同社は10年ほど前から大日本印刷やキオクシアと共同でナノインプリント技術を開発しており、半導体向けでは現状では競合はいないとしている。

　　政府は７月、高性能な半導体製造装置の輸出規制強化を施行した。同社は新装置がこの対象になるかどうかについてはコメントを控え、輸出規制は法律に従って対応していくとした。