Ds 0002d.sp Series

Download as pdf or txt
Download as pdf or txt
You are on page 1of 17

SP Series

Differential Low Pressure Sensors 
Spirometry Applications  

 Highly integrated sensor with ADC and DSP 
 Programmable ranges from ±250 Pa to ±40 kPa 
 16 bit resolution each range 
 Ultra low noise, 19+ bit Effective Resolution 
 Selectable Bandwidth Filter from 25Hz to 250Hz 
 Z‐Track™ virtually eliminates zero drift 
 Very High Accuracy +/‐ 0.1% of Selected Range  
 Long Term Stability +/‐ 0.1% FSS/year 
 Enhanced EMI Immunity 
 Output Update Rate of 500Hz 
 Temperature Compensated 0°C to 50°C 
 Supply Voltage Compensation 
 Standard I2C and SPI Interface 

Product Summary
Superior’s SP Series low pressure sensor module  element  with  integrated  amplification,  ADC, 
family  employs  NimbleSense™  a  proprietary  DSP  and  processor  intelligence  to  greatly 
architecture achieving very high dynamic range  simplify  customer  integration  efforts.    The 
to  create  the  industry’s  highest  performing  SP Series leverages floating point technology to 
Spirometry pressure sensing device.   This wider  provide  a  highly  precise  digital  output.    This 
dynamic  range  is  ideally  suited  to  offer  precise  precision,  when  combined  with  the  enhanced 
near  zero  measurements  to  support  the  zero  point  and  the  industry’s  best  positional 
demanding  functional  requirements  of  the  immunity  enables  the  ultimate  in  Spirometry 
Spirometry  market.  Selectable  multiple  system  sensing  performance.    The  SP  Series 
pressure  ranges  are  now  supported  in  a  single  optimizes  performance,  reliability  and  system 
package.  The  SP110/SP210  can  be  user  cost for the challenging Spirometry market. 
programmed  to  ±250,  500,  1k  and  2.5k  Pa  full 
scale  ranges  while  the  SP160  is  programmable  Industry  leading  accuracy  performance  ‐  The 
to ±5, 10, 20 and 40 kPa ranges.  SP  Series  measures  dry  air  and  non‐aggressive 
gas  pressure  with  very  high  accuracy  better 
The  SP  Series  family  provides  a  new  level  of  than  0.10%  FS  and  Total  Error  Band  is  also 
sensor  integration  into  the  Spirometry  market  industry  leading  which  is  typically  better  than 
combining  an  advanced  piezoresistive  sensing  0.15% FSS.    
www.SuperiorSensors.com  1  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
Table of Contents  1 Maximum Ratings
1  Maximum Ratings ................................................................ 2  Parameter  Sym  Min  Max Units
2  Suggested Operating Conditions ......................................... 2 
Supply Voltage  VDDM  Gnd‐0.3  4.0  V 
3  Environmental ..................................................................... 2 
4  Equivalent Circuit ................................................................. 2  Voltage on I/O Pins         
5  Feature List .......................................................................... 3  VDD > 3.3V  VIOML  Gnd‐0.3  5.8  V 
6  Performance Characteristics ............................................... 3  VDD ≤ 3.3V  VIOMH  Gnd‐0.3  VDD+2.5  V 
7  Electrical Characteristics ...................................................... 4  I/O Current  IIOM  ‐25  25  mA 
7.1  Supply Characteristics ................................................. 4 
7.2  Reset Characteristics .................................................. 4 
7.3  DAV Characteristics .................................................... 4  2 Suggested Operating Conditions
7.4  SPI Characteristics ...................................................... 5 
Parameter  Sym  Min  Max Units
7.5  I2C Characteristics ....................................................... 5 
8  Materials .............................................................................. 5  Supply Voltage  VDDOP  2.8  3.5  V 
8.1  Wetted Materials ........................................................ 5 
Temperature  TA  0  50  °C 
8.2  Material Compliance .................................................. 6 
9  System Overview ................................................................. 6 
10  Interface .............................................................................. 7  3 Environmental
10.1  Reset ........................................................................... 7 
10.2  Communication Interface Selection ........................... 7  Parameter  Sym  Min  Max Units
10.3  SPI Interface ................................................................ 7  Temperature Range        
10.4  I2C Interface ................................................................ 8  Compensated  TCMP  0  50  °C 
10.4.1 I2C Address ....................................................... 8  Operating  TOP  ‐20  85  °C 
10.4.2 I2C Communications Model ............................. 8  Storage  TSTG  ‐40  85  °C 
10.4.3 I2C Clock Stretching .......................................... 9 
Humidity 
10.4.4 I2C Bus Compatibility ........................................ 9  RHOP  0  95  % RH 
(Non‐condensing) 
10.5  Extended Data Acquisition ......................................... 9 
10.5.1 Available Extended Data .................................. 9  Vibration 
GVIBE  ‐  15  g 
10.5.2 SPI Extended Data Read ................................... 9  (10Hz‐2kHz) 
10.5.3 I2C Extended Data Read ................................... 9  Shock (6 ms)  GSHOCK  ‐  100  g 
10.6  Control Registers ...................................................... 10 
Life  CYLIFE  1M  ‐  Pressure 
10.6.1 Mode Control Register ................................... 10 
Cycles 
10.6.2 Rate Control Register ..................................... 11 
10.7  Computing Pressure ................................................. 11 
11  Mechanical and Manufacturing ......................................... 12  4 Equivalent Circuit
11.1  Package Dimensions ................................................. 12 
11.2  Suggested Pad Layout ............................................... 12  DAV DAV
11.3  Pinout ....................................................................... 13  nRST nRST
PLOW Port A PLOW Port A
11.4  Reflow Soldering and Handling Conditions .............. 13 
11.5  Pick and Place Pick‐up Zone ..................................... 13  PHIGH Port B
MISO/SDA
PHIGH Port B
MISO/SDA

Sensor MOSI/SCL Sensor MOSI/SCL


11.6  Packaging Options .................................................... 14  (SPI) SCK (I2C) SCK VI2C Address
11.6.1 Tray Packaging ............................................... 14  nSS nSS

11.6.2 Tape and Reel ................................................ 15  VDD VDD


11.7  Part Identification ..................................................... 16  Gnd Gnd
FIG‐0026C

12  Ordering Information ........................................................ 16 
13  Packaging Labeling............................................................. 16   
14  Revisions ............................................................................ 17 
15  Warranty ............................................................................ 17 
 
 

www.SuperiorSensors.com  2  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
5 Feature List
Parameter  Sym  SP110  SP210  SP160  Units  Notes 

Programmable FS Pressure Ranges  PNUM  4  Each   


±250 to ±2.5k  ±250 to ±2.5k  ±5k to ±40k  Pa   
Programmable FS Range Extents  PEXT 
±1.0 to ±10  ±1.0 to ±10  ±20 to ±160  inH2O 
Programmable BW Filter Corners  BWNUM  8  Each   
BW Corner Frequency Extents  fBWEXT  25 to 250  Hz   
Common Mode Pressure  PCM  500  500  500  inH2O  1 
Proof Pressure  PPROOF  40  40  1000  inH2O  2 
Burst Pressure  PBURST  120  120  3000  inH2O  3 
1) Pressure applied to both ports simultaneously without incurring part damage. 
2) Pressure at which the sensor will not suffer permanent damage. 
3) Pressure if exceeded could cause permanent damage to the sensor. 

6 Performance Characteristics
Note: Unless otherwise specified, characteristics specified with VDD = 3.3V, TA = 25C 
SP210  SP110 SP160 
Parameter  Sym  Units  Notes 
Min  Typ  Max Min Typ Max Min Typ  Max 
Accuracy  PACC  ‐  0.05  0.1  ‐  0.05  0.1  ‐  0.05  0.1  % RNG  1 
Total Error Band  TEB  ‐  0.05  0.15  ‐  0.1  0.3  ‐  0.1  0.3  % FSS  2 
Long Term Stability  LTS  ‐  0.05  0.1  ‐  0.1  0.25  ‐  0.1  0.25  % FSS/Yr   
Thermal Hysteresis  THYS  ‐  0.025  ‐  ‐  0.05  ‐  ‐  0.05  ‐  % FSS   
Pressure Hysteresis  PHYS  ‐  0.05  ‐  ‐  0.05  ‐  ‐  0.05  ‐  % RNG  1 
Position Sensitivity  PPS  ‐  0.25  ‐  ‐  2.0  ‐  ‐  2.0  ‐  Pa   
Supply Rejection  PSR  ‐  0.0005  ‐  ‐  0.0005  ‐  ‐  0.005  ‐  Pa/mV   
Resolution  RES  ‐  16  ‐  ‐  16  ‐  ‐  16  ‐  bit  3 
System ENOB  ENOB  ‐  18  ‐  ‐  18  ‐  ‐  18  ‐  Bit  4 
Data Update Rate  fUPDATE  485  498  512  485  498  512  485  498  512  Hz  5 
1) Percentage of selected range. 
2) Includes errors of offset, span and thermal effects. 
3) Each of programmable range has the specified resolution. 
4) ENOB stated for fBW set to 25 Hz, with Z‐Track™ active. 
5) The internal update rate is fixed and does not change with range or filter settings. Sampling at lower data rates are possible provided the 
Nyquist frequency is observed. It is suggested to sample at least 2x the set fBW frequency. 

www.SuperiorSensors.com  3  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
7 Electrical Characteristics
7.1 Supply Characteristics
SP210  SP110 SP160 
Parameter  Sym  Units  Notes 
Min  Typ  Max Min Typ Max Min Typ  Max 
Supply Current  IDD  ‐  6.0  6.5  ‐  5.0  5.5  ‐  5.0  5.5  mA   
Supply Capacitance  CDD  ‐  10  ‐  ‐  10  ‐  ‐  10  ‐  uF  1 
1) Supply capacitance is provided within the part however it is recommended to include a 0.1 uF decoupling cap near the supply pads. 

7.2 Reset Characteristics


SP210 / SP110 / SP160 
Parameter  Sym  Condition  Units  Notes 
Min Typ Max 
Power‐On Reset  VPORR  Rising Voltage on VDD  ‐  1.4  ‐  V   
Threshold  VPORF  Falling Voltage on VDD  0.75  ‐  1.36  V 
Interface Detect  tIOD  From POR or External  ‐  ‐  40  ms   
Delay  Reset 
First Response  tFRD  From POR or External  ‐  ‐  60  ms  1 
Settling Time  Reset 
External Reset Low  tRSTL    15  ‐  ‐  us   
Input High Voltage  VIH    VDD‐0.6  ‐  ‐    2 
Input Low Voltage  VIL    ‐  ‐  0.6    2 
Internal Pull‐Up 
IPU  VIN = 0V  ‐  ‐10  ‐30  uA  2 
Current 
Input Capacitance  CIN    ‐  7  ‐  pF  2 
1) The filter settling time to ensure the first reading is completely settled. 
2) Input nRST 

7.3 DAV Characteristics


SP210 / SP110 / SP160 
Parameter  Sym  Condition  Units  Notes 
Min Typ Max 
Output High Voltage  VOH  IO = ‐3 mA  VDD‐0.7  ‐  ‐  V   
Output Low Voltage  VOL  IO = 8 mA  ‐  ‐  0.6  V   
 
 

www.SuperiorSensors.com  4  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
7.4 SPI Characteristics
SP210 / SP110 / SP160 
Parameter  Sym  Condition  Units  Notes 
Min Typ Max 
Output High Voltage  VOH  IO = ‐3 mA  VDD‐0.7  ‐  ‐  V  1 
Output Low Voltage  VOL  IO = 8 mA  ‐  ‐  0.6  V  1 
Input High Voltage  VIH    VDD‐0.6  ‐  ‐    2, 3 
Input Low Voltage  VIL    ‐  ‐  0.6    2, 3 
Internal Pull‐Up 
IPU  VIN = 0V  ‐  ‐10  ‐30  uA  2, 3 
Current 
Time nSS to First  tSC    100  ‐  ‐  us   
SCK Edge 
Clock Cycle Time  tCC    8  ‐  ‐  us   
Byte to Byte Cycle  tBC    100  ‐  ‐  us   
Time 
Time Last Clock to  tCN    20  ‐  ‐  us   
nSS High 
Cycle Time nSS  tCS    8  ‐  ‐  us   
Input Capacitance  CIN    ‐  7  ‐  pF  2 
1) Output MOSI 
2) Inputs MISO, SCK, nSS 
3) Inputs are 5V compliant. 

7.5 I2C Characteristics


SP210 / SP110 / SP160 
Parameter  Sym  Condition  Units  Notes 
Min Typ Max 
SCL Clock Frequency  fSCL    100  ‐  400  kHz   
Clock Stretch Time  tCKSTR    ‐  15  100  us   
Input High Voltage  VIH    VDD‐0.6  ‐  ‐     
Input Low Voltage  VIL    ‐  ‐  0.6     
Output Low Voltage  VOL  IO = 8 mA  ‐  ‐  0.6  V   
Input Capacitance  CIO    ‐  7  ‐  pF   

8 Materials
8.1 Wetted Materials
SP210  SP110 SP160 
Parameter  Sym  Units  Notes 
PA  PB PA PB PA PB 
Wetted Materials  MATWET  Epoxy  Epoxy  Epoxy  Epoxy  Epoxy  Epoxy     
Nylon  Nylon  Nylon  Nylon  Nylon  Nylon 
RTV  RTV  RTV  RTV  RTV  RTV 
Silicon  Silicon  Silicon  Silicon  Silicon  Silicon 
Gold  Gold  Gold  Gold 
Aluminum  Aluminum  Aluminum  Aluminum 

www.SuperiorSensors.com  5  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
8.2 Material Compliance
SP210  SP110 SP160 
Parameter  Sym  Units  Notes 
PA  PB PA PB PA PB 
RoHS  REGRoHS  RoHS Compliant     
REACH  REGREAC REACH Compliant     

9 System Overview
The SP Series pressure sensor is a fully integrated pressure acquisition system in a sensor module. The acquisition system includes 
anti‐alias filters, data acquisition, sensor compensation, AZ Control, noise suppression, bandwidth limiting and I/O functions. Refer 
to the figure below for the SP Series block diagram.  

User Control Registers DAV
HW 
Interface nRST

Mode Control Rate Control

Rate 
Pressure Anti‐Alias  Δ‐Sigma  Controller
Range  AZ with Enable/ BW 
Sensor Filter Modulator 2b Control 2b Control 1b Disable 3b Control

AZ Block
Anti‐Alias  Δ‐Sigma With
Va Z‐Track
Filter Modulator MISO/SDA
4 Compensation ‐ Zero Noise 
BW Limit
SPI/I2C 
MOSI/SCL
Decimation FPU with ∑  IIR SCK
Linearization + Suppression
(2nd Order) Interface
nSS
To SAR ADC
26 Term 
Compensation 
Coefficients
Vs
SAR ADC
SYS

FIG‐0042A
There are also two user controlled registers that tune the sensor to the specific user requirements.  The first register is the Mode 
Control register that determines the output pressure range, the corner frequency of the bandwidth limiting filter, enables or disables 
the noise suppression filter and controls the Auto‐Zero block with Z‐Track™. 
The  second  register  is  the  Rate  Control  register  which 
controls the rate at which the Data Available (DAV) pin is 
asserted. The internal sensor data update rate is 498 Hz.  Rate Control 
Register
The  Rate  Control  register  will  throttle  down  the  rate  at 
Reload Value
which  the  Data  Available  pin  (DAV)  is  asserted  by 
counting  down  from  the  value  set  in  the  Rate  Control  Internal Update  Zero DAV
Down Counter S Q
(fUPDATE)
Register  and  setting  the  DAV  pin  upon  reaching  zero  in 
the  down  counter.  The  DAV  is  reset  upon  each  read  of 
Data Read
the  pressure  sensor.  An  internal  model  of  the  Rate  R
FIG‐0012B

Controller  is  illustrated  in  the  figure  to  the  right.  In  the 
event the Rate Control Register is set to zero, the sensor 
will  automatically  select  a  Rate  Control  Register  value  that  is  determined  by  the  currently  selected  bandwidth.  Refer  to  Section 
10.6.2 for details on the rate control register functionality. 
 

www.SuperiorSensors.com  6  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
10 Interface
10.1 Reset
Reset timing is shown in the diagram below. 
The  communications  method  (SPI  or  I2C)  is  established  during  the  time  just  after  rest.  During  this  time  (tIOD),  no  communications 
should take place. 
Also, the internal filters are settling during the time tFRD and data acquired during this time may not be fully settled. 
 Reset Timing Diagram

VDD VPORR VPORF

Internal Reset
tRSTL

_RST
tIOD tIOD

Communications 
Available
tFRD tFRD

Filters Settled

FIG‐0021A
 
10.2 Communication Interface Selection
The communications interface is selected by interrogating the nSS pin after the internal power on reset delay. If nSS is high, the SPI 
interface will be selected otherwise (if low) the I2C interface will be selected. Grounding the nSS pin is an acceptable method for 
selecting the I2C interface. 

10.3 SPI Interface


The SPI interface uses a 16 bit transfer for all communications. Data is MSB first for both MOSI and MISO data transfers. Refer to the 
figure below for specific timing requirements. 

 SPI Timing Diagram

ts c tcc tbc tcn tcs

SCK

MOSI Bit 7 Bit 6 Bit 5 Bit 4 Bit 3 Bit 2 Bit 1 Bit 0 Bit 7 Bit 6 Bit 5 Bit 4 Bit 3 Bit 2 Bit 1 Bit 0

MISO Bit 7 Bit 6 Bit 5 Bit 4 Bit 3 Bit 2 Bit 1 Bit 0 Bit 7 Bit 6 Bit 5 Bit 4 Bit 3 Bit 2 Bit 1 Bit 0
FIG‐0013A

nSS

 
The data communications has been reduced to a simple 16 bit transfer model for reading the pressure output. Each communication 
cycle consists of master sending the Mode and Rate data to be placed into the sensor Mode Register and Rate Registers respectively. 
Simultaneously, the sensor sends the pressure data for the master to receive. Refer to the figure below for the data communication 
model of the SP Series sensor. 

www.SuperiorSensors.com  7  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
The requirement to send the Mode and Rate bytes on each data read cycle is intentional. The purpose is to force the master to send 
specific data for each communication and prevent inadvertent data from being sent to the sensor. Since a SPI interface will generally 
re‐circulate data through its shift register, the intention is to prevent the pressure output from the sensor from being re‐circulated 
back to the sensor and potentially causing unintended corruption of manufacturing data. 

 SPI Data Diagram

SCK

MOSI  User Mode Byte  User Rate Byte

MISO Pressure Output High Byte Pressure Output Low Byte

FIG‐0014A
nSS

 
10.4 I2C Interface
The SP Series is compatible with the I2C protocol. For detailed information regarding the I2C protocol, please refer to the Philips I2C 
Bus Specification, Version 2.  

10.4.1 I2C Address


I2C Address Selection Table The  I2C  address  is  set  to  0x28  by  grounding  the  SCK  line.  Other  I2C  addresses  can  be 
established by applying a voltage to the SCK line by use of a resistor divider across the sensor 
Address  Address 
R1 (kΩ) R2 (kΩ) supply voltage. The suggested resistor values and the respective I2C address are shown in the 
(decimal) (hex)
120 5.6 49 0x31
table to the left. 
120 12 48 0x30  Note: R1 is the lower resister of the divider where R2 is the upper resistor of the divider. 
120 27 47 0x2F
120 51 46 0x2E
 
120 100 45 0x2D  
56 100 44 0x2C
30 100 43 0x2B
15 100 42 0x2A
5.6 100 41 0x29
0 NoPop 40 0x28
10.4.2 I2C Communications Model
The sensor is configured as a slave device 
and  as  such,  the  communicating  host 
must be configured as a master. There are 
two types of possible data transfers, data 
transfers  from  the  master  transmitter  to 
an  addressed  sensor  (WRITE),  and  data 
transfers  from  an  addressed  sensor  to  a 
master  receiver  (READ).    The  master 
device  initiates  both  types  of  data 
transfers  and  provides  the  serial  clock 
pulses on SCL.  
The  communications  model  for  I2C  is 
similar to that of SPI however, since I2C is 
a  half‐duplex  protocol,  the  transfer  of 
information  to  and  from  the  sensor  is 
separated into two separate communications. This is in contrast to the SPI interface where the transmitted and received data occurs 
simultaneously to and from the host. Refer to the figure to the right for the data communication model for the SP Series sensors. 

www.SuperiorSensors.com  8  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
10.4.3 I2C Clock Stretching
The  figure  to  the  right  illustrates  the  I2C 
clock stretching by the sensor. At times, the 
sensor requires additional time to respond 
to the host and utilizes the clock stretching 
feature  of  the  I2C  protocol.  This  is 
accomplished by  holding  the  SCL  low  after 
the  ACK  cycle  of  a  data  transfer.  Refer  to 
Section  7.5  for  the  clock  stretching  timing. 
Note, the maximum clock stretch time will 
generally only occur once during the three 
ACK  cycles  of  a  two  byte  transfer.  That  is, 
the  balance  of  ACK's  during  a  multi‐byte 
transfer will generally include the typical clock stretching time. 

10.4.4 I2C Bus Compatibility


The  I2C  specification  allows  any  recessive  voltage  between  3.0  and  5.0  V.  Different  devices  on  the  bus  may  operate  at  different 
voltage  levels.  However,  the  maximum  voltage  on  any  port  pin  must  conform  to  the  electrical  characteristics  specifications  (See 
section  1).  The  bi‐directional  SCL  (serial  clock)  and  SDA  (serial  data)  lines  must  be  connected  to  a  positive  power  supply  voltage 
through a pull‐up resistor or similar circuit. Every device connected to the bus must have an open‐drain or open‐collector output for 
both the SCL and SDA lines, so that both are pulled high (recessive state) when the bus is free. 

10.5 Extended Data Acquisition


10.5.1 Available Extended Data
For either the SPI or I2C interface, additional data is available beyond the pressure. The means to access this extended data is to 
continue reading data (either SPI or I2C) beyond the first 16 bits of pressure information. The following table defines the order of the 
available data and respective format. 

Data  Bytes  Format  Interpretation  Example 


Pressure  1‐2  2 byte, Signed Int  See Section 10.7  See Section 10.7 
Temperature  3‐4  2 byte, Signed Int  Fixed Decimal [8.8 bits], Upper 8 bits  1880H (18.80H) = 24.5°C 
integer, lower 8 bits fractional. 
Temperature in °C 
Model  5‐10  6 byte, ASCII, null  Right reading ASCII with null  48H,56H,32H,31H,30H,00H = HV210 
terminated  termination 
Serial Number  11‐14  4 byte, Hex  Unique 4 byte serial for each part  2FD627A4H 
Build Number  15‐20  6 byte, ASCII, null  Right reading ASCII with null  30H,30H,30H,33H,43H,00H = 0003C 
terminated  termination 

10.5.2 SPI Extended Data Read


Reading  the  extended  data  while  using  the  SPI  interface  is  the  same  as  shown  in  Section  10.3  with  exception  that  the  master 
continues to read during the same nSS sequence to read all 20 bytes of the extended data. Any portion of the 20 bytes can be read 
during the transfer. That is, for example, 4 bytes could be read to acquire only the pressure and temperature information.  When 
reading  the  extended  data,  only  the  first  two  bytes  sent  to  the  sensor  (User  Mode  and  User  Rate)  are  used  to  set  the  internal 
registers. The subsequent bytes (bytes 5 through 20) are ignored. Data read following the first 20 bytes is undefined. 

10.5.3 I2C Extended Data Read


Reading the extended data via the I2C interface is similar to using the SPI interface where the master can simply continue to reading 
the sensor during the pressure reading transfer. The master continues Ack'ing until the number of desired bytes are read. 

www.SuperiorSensors.com  9  DS‐0002D.DOCX 
SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
10.6 Control Registers
10.6.1 Mode Control Register  Mode Control Register Detail
Default Value: 0x93 
Mode Register (General)

Details of the Mode Control register are illustrated in the figure to  b7 b6 b5 b4 b3 b2 b1 b0
the right. 
Pressure Range Select
Bits 0‐1 control the output pressure range.   BW Limit Select
AZ Enable
Bits 2‐4 control the BW Limit Filter.   AZ Mode
Zero‐Noise
Bit 5 enables the Auto‐Zero function. Upon the rising edge of bit 5  Suppression Enable
(writing  a  1  with  the  prior  value  being  a  0),  the  current  pressure 
output is captured as the zero point. The detailed behavior of this  Mode Register (Detail)
zero value is determined by bit 6 (Auto‐Zero Mode bit). The Auto‐
b7 b6 b5 b4 b3 b2 b1 b0
Zero  behavior  will  continue  while  bit  5  remains  set.  When  bit  5 
returns  to  0,  the  Auto‐Zero  function  will  be  turned  off  and  there 
Pressure Range Select (by Model)
will be no forced zero of the part output.  SP210 SP110 SP160
0 0 1.0 inH 2O 1.0 inH 2O 20 inH2O
Bit 6 determines the specific Auto‐Zero mode. It is captured on the 
0 1 2.0 inH 2O 2.0 inH 2O 40 inH2O
rising  edge  of  bit  5.  If  bit  6  is  zero,  a  standard  Auto‐Zero  is 
performed. If bit 6 is 1,  the Z‐Track mode is initiated.  1 0 5.0 inH 2O 5.0 inH 2O 80 inH2O

1 1 10.0 inH2O 10.0 inH2O 160 inH2O


Standard Auto‐Zero 
When the standard Auto‐Zero is initiated, the current zero  BW Limit Select
0 0 0 25 Hz
pressure point is captured and is subtracted from the 
compensated output until the Auto‐Zero function is turned  0 0 1 35 Hz

off.  0 1 0 50 Hz

0 1 1 65 Hz
Z‐Track Mode  1 0 0 100 Hz
When the Z‐Track Mode is initiated, the current zero pressure  1 0 1 130 Hz
point  is  captured  and  subtracted  from  the  compensated 
1 1 0 180 Hz
output.  The  zero  point  is  also  tracked  while  the  pressure 
1 1 1 250 Hz
output  is  within  the  noise  floor  of  the  sensor.  During  a 
pressure  excursion,  the  zero  tracking  is  suspended  until  such  Auto‐Zero Enable
time as the sensor output returns to the sensor noise floor. At  0 Disabled
this time, the sensor recaptures the zero point and continues  ↑  Capture Zero
tracking zero. This function remains active while the Auto‐Zero  1 Enabled
Enable bit (bit 5) remains high.  
Auto‐Zero Mode (1)
Bit 7 is the Zero‐Noise Suppression Enable bit. Setting this bit will 
0 Standard (Capture Only)
cause  the  sensor  to  suppress  noise  around  the  zero  pressure 
1 Z‐Track (Capture‐Track)
output value. It is beneficial to set this bit any time the Auto‐Zero 
function is enabled.  Zero‐Noise Suppress
0
Disabled
 
1
Enabled
 
FIG‐0043A

Note 1: Auto‐Zero Mode is captured on the rising edge of Auto‐Zero Enable
It  should  also  be  noted  that  upon  changing  the  Mode  Control 
value,  there  is  a  one  cycle  latency  before  the  new  Mode  Control 
value becomes valid. That is, the data of the communication cycle following a change to the Mode Control register will not reflect 
the  change.  It  is  not  until  the  second  communication  cycle  that  the  change  in  the  Mode  Control  register  will  be  reflected  in  the 
output data. 
   

www.SuperiorSensors.com  10  DS‐0002D.DOCX 


SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
10.6.2 Rate Control Register  Rate Control Register Detail
 Default Value: 0x00 
Rate Control Register
The Rate Control Register controls the rate at which the DAV  b7 b6 b5 b4 b3 b2 b1 b0
pin is asserted indicating new data is available. This register 
0 0 0 0 0 0 0 0 Auto Select
is  primarily  used  to  throttle  down  the  actual  data  transfer 
0 0 0 0 0 0 0 1 498.5 Hz
rate (when using the DAV as the trigger to sample data).  
0 0 0 0 0 0 1 0 249.2 Hz
The function of this register is that it is the reload value of a  0 0 0 0 0 0 1 1 166.2 Hz
data  rate  down‐counter.  The  value  of  the  Rate  Control 
Register is the divisor of the 498 Hz internal data rate. Since 
a divisor of zero is not possible, a zero value will select the 
1 1 1 1 1 1 1 0 1.96 Hz
auto‐select  rate  mode.  In  this  mode,  the  rate  is  selected 
1 1 1 1 1 1 1 1 1.95 Hz
based on the selected bandwidth limit. The auto rate value is 
two  times  the  corner  frequency  of  the  currently  selected 
bandwidth limit in all auto selected rates.   Selected BW Limit Auto Select Rate

25 Hz 49.8 Hz
Note: Start‐up time for the sensor is approximately 60ms for 
35 Hz 71.2 Hz
the  first  sample  to  be  settled.  Requesting  data  during  this 
time will result in invalid information. However, this start‐up  50 Hz 99.7 Hz

time  can  be  used  for  configuring  the  Mode  and  Rate  65 Hz 124.6 Hz

registers  by  performing  a  transfer  with  the  desired  Mode  100 Hz 249.2 Hz

and  Rate  register  values  and  discarding  the  received  130 Hz 249.2 Hz
pressure data. After waiting the required start‐up time, the  180 Hz 498.5 Hz
sensor  will  respond  with  desired  data  since  the  Mode  and 

FIG‐0044A
250 Hz 498.5 Hz
Rate registers have been pre‐established. 

10.7 Computing Pressure


The  pressure  data  is  in  the  form  of  16  bit  signed  integer  sent  in  high  byte  then  low  byte  order.  This  is  a  differential  output  by 
definition and the data range is ±215. There is a 10% margin in the output scaling and the selected full scale will reside in the 90% 
band of the total available output data range. Refer to Equation 1 (below) for the general model for computing the output pressure. 
As an example, if the sensor output is 3,647 counts and the selected pressure range is 1.0 inH2O, then the output pressure is 0.124 
inH2O. Conversely, for a ‐3,647 count with the selected pressure range of 1.0 inH2O, the computed output pressure is ‐0.124 inH2O.  
Refer to Example 1 (below) for the specific example computation. 
 
,
  1: ∗   1: ∗ 1 0.124  
% ∗ % ∗
 
 
 
   

www.SuperiorSensors.com  11  DS‐0002D.DOCX 


SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
11 Mechanical and Manufacturing
11.1 Package Dimensions

11.2 Suggested Pad Layout


The suggested pad layout is shown in the figure below. An Eagle PCB symbol library is available with the shown pad dimensions. 
Please consult the factory to obtain the library. 
   

www.SuperiorSensors.com  12  DS‐0002D.DOCX 


SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
11.3 Pinout
Pin  Sym  SPI  I 2C
Slave Select 
1  nSS  Tie to Ground 
(active low) 
2  MOSI/SCL  MOSI  SCL 
3  MISO/SDA  MISO  SDA 
4  SCK  Serial Clock  See Section 10.4.1 
5  DNC  Do Not Connect 
6  DNC  Do Not Connect 
7  DNC  Do Not Connect 
8  Gnd  Ground 
9  VDD  Sensor Supply 
10  nRST  Reset (active low) 
11  DAV  Data Available 

11.4 Reflow Soldering and Handling Conditions


Parameter  Sym  Val Units
Soldering Specifications (Max)       
Preheat Ramp Rate  tPHRR  3  °C/s 
Soak Time  tSOAK  3  min 
Time Above 217C  tGT217  50  s 
Time Above 230C  tGT230  40  s 
Time Above 250C  tGT250  15  s 
Peak Temperature  tPT  255  °C 
Cooling Ramp Rate  tCRR  ‐4  °C/s 
Weight  WPRT  3.5  gm 
Moisture Sensitivity  MSL  3   
ESD (Human Body Model)  ESD  2  kV 

11.5 Pick and Place Pick-up Zone

www.SuperiorSensors.com  13  DS‐0002D.DOCX 


SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
11.6 Packaging Options
11.6.1 Tray Packaging

 
 
   

www.SuperiorSensors.com  14  DS‐0002D.DOCX 


SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
11.6.2 Tape and Reel

 
 

www.SuperiorSensors.com  15  DS‐0002D.DOCX 


SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
11.7 Part Identification

12 Ordering Information
Part  Packaging
Part Number  Packaging  Order Number 
Package  Qty 
Tape and Reel  256  SP160‐SM02‐R 
   
Multi‐Tray  512  SP160‐SM02‐M 
SP160‐SM02  SM02 
Single Tray  64  SP160‐SM02‐T 
Quarter Reel  64  SP160‐SM02‐Q 
Cut Tape  1‐63  SP160‐SM02‐C 
Tape and Reel  256  SP110‐SM02‐R 
   
Multi‐Tray  512  SP110‐SM02‐M 
SP110‐SM02  SM02 
Single Tray  64  SP110‐SM02‐T 
Quarter Reel   64  SP110‐SM02‐Q 
Cut Tape  1‐63  SP110‐SM02‐C 
Tape and Reel  256  SP210‐SM02‐R 
   
Multi‐Tray  512  SP210‐SM02‐M 
SP210‐SM02  SM02 
Single Tray  64  SP210‐SM02‐T 
Quarter Reel  64  SP210‐SM02‐Q 
Cut Tape  1‐63  SP210‐SM02‐C 

13 Packaging Labeling
Packaging labels are provided with barcode Code 128 symbology. The provided fields are Company 
Name, Part Number, Packaging ID,  Quantity and Country of Origin. The Packaging ID traces back to 
the  Lot  Number  (or  Lot  Numbers)  contained  in  the  package.  The  purpose  is  to  eliminate  multiple 
labels  (one  for  each  included  Lot  Number)  in  the  event  of  multiple  Lot  Numbers  within  a  single 
package. This is for ease of customer tracking and maintenance. The Packaging ID is a 24 bit value 
printed in hexadecimal format. 
 

www.SuperiorSensors.com  16  DS‐0002D.DOCX 


SP Series
Differential Low Pressure Sensors 
14 Revisions
Rev  Change Description(s) Date By
A  Initial Release  03/22/19  M.B. 
2
B  1) Correct I C Address Selection Table  3/31/2020  T.S. 
C  1) Revise I2C Address Selection Table Resistor Values  2/4/2021  T.S. 
D  1) Updated Ordering Information  9/27/2021  A.G. 

15 Warranty
Superior  Sensor  Technology  and  its  subsidiaries  warrant  goods  of  its  manufacture  as  being  free  of  defective  materials  and  faulty 
workmanship during the applicable warranty period. In all cases, Superior Sensor Technology's standard product warranty applies; 
please refer to your order acknowledgement or consult your local sales office for specific warranty details.  
If  warranted  goods  are  returned  to  Superior  Sensor  Technology  during  the  period  of  coverage,  Superior  Sensor  Technology  will 
repair or replace, at its option, without charge those items that Superior Sensor Technology, in its sole discretion, finds defective. 
The foregoing is buyer’s sole remedy and is in lieu of all other warranties, expressed or implied. In no event shall Superior Sensor 
Technology be liable for consequential, special, or indirect damages. 
While  Superior  Sensor  Technology  may  provide  application  assistance  personally,  through  literature  or  the  Superior  Sensor 
Technology web site, it is buyer's sole responsibility to determine the suitability of the product in their application.  Superior Sensor 
Technology assumes no liability for applications assistance or customer product design. 
Superior Sensor Technology reserves the right to make corrections, modifications, enhancements, improvements and other changes 
to  its  products  and  services  at  any  time  and  to  discontinue  any  product  or  service  without  notice.    Customers  should  obtain  the 
latest relevant information before placing orders and should verify that such information is current and complete. 

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Superior SENSOR TECHNOLOGY 
3080 Oakmead Village Road 
Santa Clara, CA 95051 
www.SuperiorSensors.com 
info@SuperiorSensors.com 
+1.408.703.2950 
NimbleSense and Z‐Track are trademarks of Superior Sensor Technology 

www.SuperiorSensors.com  17  DS‐0002D.DOCX 

You might also like