TECHNIQUESDUVIDE
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TECHNIQUES DU VIDE
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Eric Chappel
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1
Partie Théorique
I. INTRODUCTION ....................................................................................................................................................... 4
A. APPLICATIONS ........................................................................................................................................................... 4
B. UNITÉS ........................................................................................................................................................................ 4
2
VI. EXPÉRIENCES ......................................................................................................................................................... 21
A. OBSERVATION DES DIFFÉRENTS RÉGIMES DE POMPAGE ........................................................................................ 21
B. VÉRIFICATION DE LA LOI DES CONDUCTANCES ...................................................................................................... 22
C. CRYOPOMPAGE ........................................................................................................................................................ 22
VII. ANNEXES ............................................................................................................................................................. 26
A. TABLE DE CONVERSION POUR UNITÉS DE PRESSION. .............................................................................................. 27
B. SCHÉMA ET ABAQUE – POMPE PASCAL .................................................................................................................. 28
C. SCHÉMA ET ABAQUES – POMPES TURBOMOLÉCULAIRES. ...................................................................................... 32
RÉSULTATS ......................................................................................................................................................................... 34
3
Partie théorique
I. Introduction
A. Applications
B. unités
4
Exercice :
1 Torr 1mbar
=13600*9.81*0.001=133.4 Pa =………………….Pa
A. PRINCIPE
5
Pompes utilisés :
2. pompes multipalettes
Ces pompes à un étage sont adaptées à des débits élevés (170 à 1200
m3/h) aux pressions 1 Torr.
Ceci concerne les débits importants. Les deux principaux types de pompes
utilisées sont :
Ils travaillent dans la gamme 10-3-50 Torr et doivent être associés à une
pompe primaire. Plusieurs roots peuvent être mis en série mais ce sont des
sources de vibration importantes.
2. les boosters
6
D. Pompage secondaire (10-7<p<10-3 Torr)
Principe :
Dans le régime moléculaire, ce sont les parois de l’enceinte qui limitent le
trajet des molécules. Des ailettes tournant à grande vitesse vont donner au
gaz une direction privilégiée, ce qui permet à la suite de le piéger.
Les disques à ailettes fixes et mobiles alternent (les disques fixes
permettant de faire rebondir les molécules vers le refoulement de la pompe).
L’ensemble disque fixe-disque mobile est un étage de compression. Ce sont
les angles, le nombre et la longueur des ailettes qui déterminent les
performances de la pompe.
La vitesse nominale des aubes varie de 20000 à 100000 tr/min. Il faut
toujours remettre la pompe à l’atmosphère côté vide pour éviter la
rétrodiffusion d’huile de la pompe primaire. Des grilles de protection
empêchent l’entrée de corps étrangers. L’utilisation de ces pompes est
principalement limitée par son coût.
E. Pompes cryogéniques
C’est un moyen efficace qui permet d’obtenir des pressions comprises entre
10-10 et 10-1 Torr. Deux effets physiques sont utilisés ici : la condensation et
l’adsorption (piégeage d’atomes sur une surface)
7
1. pompage par condensation
Les gaz sont condensés sur une paroi froide. Avec une source froide de 10
à 20 K, quasiment tous les gaz sont condensés (p<10-7 Torr), sauf le néon,
l’hydrogène et l’hélium.
La pompe est munie d’une ou plusieurs têtes froides et est montée en série
avec une pompe primaire.
Lors de l’arrêt de la pompe cryogénique, les gaz condensés et adsorbés
doivent être pompés. La fréquence de cette régénération des pompes
cryogéniques dépend des conditions de travail.
Ns
e E a / T avec Ea en Kelvin
Nv
8
F. Choix d’un système de pompage adapté
1. Manomètres mécaniques
2. Manomètres à fluide
3. Le manomètre à mercure
9
P en Torr T en Kelvin
760 4.215
37.8 T=2.172
1 1.27
4. Le manomètre à huile
La densité de l’huile étant environ 14 fois plus faible que celle du mercure, ce
manomètre est destiné aux basses pressions (<50 Torr). La précision reste
satisfaisante jusqu’à 0.5 mbar. Le fluide utilisé est en général du phtalate de
butyle à faible tension de vapeur saturante. Dans une application
thermométrique, il faut mesurer précisément
5. Manomètres en pont
Dans la gamme 1-1000 mbar, ces appareils robustes sont formés d’un
capteur comprenant une plaquette de silicium sur laquelle sont évaporées des
résistances. Montées en pont et équilibrées à basse pression, l’application
d’une pression déséquilibre le pont. Le signal électrique amplifié est alors
affiché, ce qui permet une lecture directe de la pression. Il peut aussi être
utilisé dans une chaîne de contrôle ou de régulation.
Lp 1/p .
Un filament chauffé à température constante est monté sur l’un des bras
d’un pont de Wheatstone. Le signal électrique produit représente la pression.
Ces jauges donnent une indication qui dépend de la nature du gaz. Elles sont
généralement calibrées pour de l’air ou de l’azote. Très fiables, bien
10
reproductibles et économiques, ces jauges de convection permettent de
mesurer une large gamme de pressions (1000 à 10-3 Torr) avec une précision
de quelques %.
T T
p p
V p
RR
Une cathode émet des électrons qui vont ioniser les molécules du gaz par
collision. Les ions collectés par l’anode vont générer un courant proportionnel
à la pression. Les valeurs indiquées dépendent de la nature du gaz. Ces
jauges sont destinées à la mesure de vide secondaire (10-3 à 10-10 Torr). Elles
sont très précises mais ne supportent pas une utilisation prolongée sous haute
pression (10-3-10-2) : la formation d’un dépôt va alors altérer son
fonctionnement.
cathode anode
i~p
+50V +200V
11
C. Mesure de la pression d’une enceinte froide
p po pa
Cte et
T To Ta
La relation est en fait plus complexe et des abaques tenant compte cet
effet thermo-moléculaire ont été tracés. Pour l’hélium, une relation pratique
est :
2,294
pa po T
724,4( Rpa ) 2 1 o
pa Ta
R en cm, pa en µbar
A. Régime de pompage
1. Régime turbulent
12
2. Régime visqueux
.
n P
Près des parois, le gaz est presque immobile tandis qu’au centre du
tube sa vitesse est maximale. L’écoulement est dit laminaire ou visqueux. Les
molécules ont de nombreux chocs entre elles mais peu avec les parois du
tube de pompage : le libre parcours moyen est faible. La viscosité du gaz est
un paramètre important.
NK= LP/ D
LP=0.0068/P[mbar]
3. Régime intermédiaire
Ici LP~D ; donc 0.01< NK< 1 et 0.68 > D*P > 0.0068 mbar cm
13
4. Régime moléculaire
.
Dans une canalisation de pompage, le débit n est fixe et défini par le
système de pompage. Pour maintenir le débit, il faut assurer une différence
de pression p entre l’enceinte à pomper et la pompe. Dans une portion i de
la ligne de pompage, le gaz qui circule à la température Ti et à la pression
moyenne pi, subit une chute de pression (perte de charge) pi qui s’écrit :
. T
pi n R i
Ci
14
. T . T T
pe po p n R i n R 1 2 ...
i Ci C1 C2
Q
C
p
C. Association de conductances
1 1 1 1
...
C C1 C2 Cn
C C1 C2 ... Cn
1. Régime visqueux
. 5 . D 4 . P
3,310
C
. L
C : conductance en l.s-1
P : pression en micromètre de mercure
D : diamètre du tube en cm
L : longueur du tube en cm
µ : viscosité du gaz en poises (Air à 25°C : 0.0001846)
15
2. Régime moléculaire
28.7. T
12,1. D 3
293. M
C
L
T : température du gaz en K
M : masse moléculaire du gaz en g.mole-1 (Air à 25°C : 33.34)
3. Régime intermédiaire
1 0,147 M
1/ 2 DP
D DP 1 / 2 T
T
C 3,69.10 2 3,81
L M 1/ 2 DP
M
1 0,181
T
16
1 1 1
S eff S C
V P
t K ln 1
S eff P2
Entre 760 et 0,1 torr, les dégazages de parois ont un faible effet sur la durée
de pompage et seront négligés. Lorsqu’on atteint 10-3 torr, l’influence des
dégazages (parois, joints...) devient prépondérante. Dans un dispositif
nécessitant un pompage permanent, ces effets sont nuisibles car ils
accroissent la taille des pompes nécessaires. Dans les cryostats, ils
deviennent catastrophiques car, le vide étant scellé, ces dégazages vont peu à
peu dégrader le vide (il faut aussi tenir compte de la diffusion à travers les
parois).
D’une façon générale, les matériaux organiques dégazent 100 fois plus que
les aciers inoxydables. On peut diminuer les coefficients de dégazage en
chauffant les enceintes (diminution d’un facteur 10 pour un acier chauffé à 200
°C pendant 10 heures).
17
PARTIE PRATIQUE
V. Introduction
Pour un TP de 2 à 4 heures
Pour comprendre et apprécier les performances et caractéristiques
globales de pompes primaire et secondaire
Avec du matériel performant utilisé actuellement dans la recherche et
dans des processus de fabrication
Avec un montage simple et intuitif qui peut facilement être modifié
ATTENTION
Au matériel
Aux unités dans les formules
De bien nettoyer les joints
De bien fermer les colliers
Mettre en marche la pompe turbomoléculaire seulement si p<0.1 mbar
Toujours noter les pressions amont et aval
18
A. Schéma du circuit
Microvanne I
D Caoutchouc, rose
II
B
4 3
plastique transp.
2.8*100cm III
2 1 plastique transp IV A
pompe
1*310cm
turbo pompe Cu, 50*0.2 cm
P2 V
P1 primaire Cu, 100*0.2 cm
VI
5 7
pompe 6
cryogénique
P3 VII
8 9
grand volume
C
10 11
X Y
12
B
circuit de grands tuyaux 13
19
B. Description du matériel (voir fiche technique en annexe)
2. Eléments du circuit :
20
VI. Expériences
Procédures
Réaliser ce circuit autour de la pompe primaire (P1) :
3 B
1 A
2 I
pompe
primaire
P1
21
Retrouver les valeurs des conductances à partir de la différence de
pression entre les deux extrémités des impédances (attention aux unités,
surtout pour la pression !).
1) Procéder comme A.3 avec les tubes fins métalliques VII et VII
Noter la pression toutes les 20 secs
Tracer sur papier millimétré la pression en fonction du temps
Conclusion
C. Cryopompage
22
Copie de TP
900
850
800
750
700 100
650
600
550
500 10
450
p [mbar]
p [mbar]
400
350
300 1
250
200
150
0,1
100
50
0
-50 0,01
-100 0 1 2 3 4 5 6
0 1 2 3 4 5 6
Nombre de tours
Nombre de tours
Fonction :
23
ii.) Grand volume
1000 1000
950
900
850
800 100
750
700
650
600 10
p [mbar]
550
p [mbar]
500
450
400 1
350
300
250
200 0,1
150
100
50
0 0,01
0 80 160 240 320 400 480 560 640 720 800 880 960 -80 0 80 160 240 320 400 480 560 640 720 800 880 960
t [sec] t [sec]
1,00
0,95
0,90
0,85
0,80
0,75
0,70
0,65
0,60
pression (mbar)
0,55
0,50
0,45
0,40
0,35
0,30
0,25
0,20
0,15
0,10
0,05
0,00
40 80 120 160 200 240 280
seconds
vi.) les grands tuyaux
24
vi) Loi des conductances
25
VII. ANNEXES
26
A. Table de conversion pour unités de pression.
1 Pa = 1 N/m2
1 mbar = 1 hPa
1 mbar = 0.75 Torr
Autres unités
27
B. Schéma et abaque – Pompe Pascal
28
29
30
31
C. Schéma et abaques – Pompes turbomoléculaires.
32
33
Résultats
I.) Microvanne :
800
100
600
10
p [mbar]
p [mbar]
400
200
0,1
0
0,01
0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6
Nombre de tours Nombre de tours
34
iii.) grand volume
1000 1000
800 100
600
10
p [mbar]
p [mbar]
400
1
200
0,1
0,01
0 200 400 600 800 1000 0 200 400 600 800 1000
t [sec] t [sec]
iv) les coudes / angles n’ont pas d’effet (le pompage n’est pas turbulent)
100
1,0
Régime intermédiaire
10
50cm/2mm (1)
p [mbar]
0,8
100cm/2mm (2) 1
0,6
pression (mbar)
0,0
0 70 140 210 280 350
seconds
35