Przedmiotem wynalazku jest sposób nanoszenia powłoki antyrefleksyjnej na powierzchnie krzemowych ogniw słonecznych technologią cieplno-chemiczną wspomaganą plazmą wyładowania jarzeniowego PECVD oraz komora próżniowa do realizacji tego...
morePrzedmiotem wynalazku jest sposób nanoszenia powłoki antyrefleksyjnej na powierzchnie krzemowych ogniw słonecznych technologią cieplno-chemiczną wspomaganą plazmą wyładowania jarzeniowego PECVD oraz komora próżniowa do realizacji tego sposobu. Półprzewodnikowe ogniwa słoneczne wykorzystujące efekt fotowoltaiczny, wykonywane są najczęściej z krzemowego materiału podstawowego o strukturze polikrystalicznej. Ich sprawność oprócz właściwości materiału półprzewodnika, w którym następuje przemiana energii promieniowania słonecznego na energię elektryczną, istotnie zależy od współczynnika odbicia, czyli stosunku mocy wiązki światła odbitego do wiązki padającej na granicę dwóch ośrodków o różnych współczynnikach załamania światła. W celu zwiększenia sprawności ogniw słonecznych na powierzchnie ogniw nanoszone są powłoki antyrefleksyjne, stanowiące układ jednej lub większej liczby cienkich warstw, których współczynnik załamania ma wartość pośrednią. Odpowiednia grubość powłoki powoduje, że p...