En un artículo de Solid State Technology ("Diseño ortogonal para optimización de procesos y su aplicación en

el grabado químico con plasma") se describe la aplicación de diseños factoriales en el desarrollo de un proceso
de grabado químico con nitruros en un dispositivo de grabado químico con plasma para una sola oblea.
El proceso usa C2F6 como gas de reacción. Cuatro factores son de interés:

FACTOR NIVEL BAJO (-1) NIVEL ALTO (1)

A= Entrehierro ánodo-cátodo (cms) 0.80 1.20
B= Presión en la cámara del reactor (mTorr) 450 550
C= Flujo de gas C2F6 (SCCM) 125 200
D= Potencia aplicada al cátodo (W) 275 325

La respuesta de interés Y es la rapidez de grabado para el nitruro de silicio (Amstron/min). Se corre una sola
réplica de un diseño factorial; los datos se muestran a continuación:
Nota: Nuestro interés es MAXIMIZAR ( y = 1100) la variable de respuesta

efecto y
1 550
a 669
b 604
ab 650
c 1037
ac 749
bc 1052
abc 868
d 633
ad 642
bd 601
abd 635
cd 1075
acd 860
bcd 1063
abcd 729

a) Ajuste el modelo completo

b) Realice un grafico de Daniel para seleccionar los efectos mas importantes
c) Desarrolle el modelo adecuado
d) elabore el grafico de efectos principales e interprete el resultado
e) Elabore el grafico de interacción e interprete el resultado
f) construya el modelo e interprete los efectos principales
g) Construya e interprete los intervalos de confianza, con respecto al valor esperado.
 su aplicación en
ollo de un proceso

corre una sola

En una planta donde se fabrican semiconductores se quiere mejorar el rendimiento del proceso. Dado que se tienen tantos fac
se decide realizar un diseño factorial 25 con una sola repetición. De acuerdo con el grupo de mejora, los factores que podrían t
influencia sobre la variable de respuesta, asi como los niveles de prueba son:

FACTOR NIVEL BAJO (-1) NIVEL ALTO (1)

A= Nivel de abertura (cms) 0.25 0.75
B= Tiempo de exposiión (minutos) 5 10
C= Tiempo de revelado (segundos) 30 45
D= Dimensión de la mascara (mm) 1 2
E = Tiempo de grabado (minutos) 14.5 15.5
no hay letra bajo

Nota: Nuestro interés es MAXIMIZAR (y = 70) la variable de respuesta

efecto A B
1 0.25 5
a 0.75 5
b 0.25 10
ab 0.75 10
c 0.25 5
ac 0.75 5
bc 0.25 10
abc 0.75 10
d 0.25 5
ad 0.75 5
bd 0.25 10
abd 0.75 10
cd 0.25 5
acd 0.75 5
bcd 0.25 10
abcd 0.75 10
e 0.25 5
ae 0.75 5
be 0.25 10
abe 0.75 10
ce 0.25 5
ace 0.75 5
bce 0.25 10
abce 0.75 10
de 0.25 5
ade 0.75 5
bde 0.25 10
abde 0.75 10
 cde 0.25 5
acde 0.75 5
bcde 0.25 10
abcde 0.75 10

a) Ajuste el modelo completo

b) Realice un grafico de Daniel para seleccionar los efectos mas importantes
c) Desarrolle el modelo adecuado
d) elabore el grafico de efectos principales e interprete el resultado
e) Elabore el grafico de interacción e interprete el resultado
f) construya el modelo e interprete los efectos principales
g) Construya e interprete los intervalos de confianza, con respecto al valor esperado.
so. Dado que se tienen tantos facgtores apar evaluar
mejora, los factores que podrían tener mayor

C D E rendimiento
30 1 14.5 7
30 1 14.5 9
30 1 14.5 34
30 1 14.5 55
45 1 14.5 16
45 1 14.5 20
45 1 14.5 40
45 1 14.5 60
30 2 14.5 8
30 2 14.5 10
30 2 14.5 32
30 2 14.5 50
45 2 14.5 18
45 2 14.5 21
45 2 14.5 44
45 2 14.5 61
30 1 15.5 18
30 1 15.5 12
30 1 15.5 35
30 1 15.5 52
45 1 15.5 15
45 1 15.5 22
45 1 15.5 45
45 1 15.5 65
30 2 15.5 6
30 2 15.5 10
30 2 15.5 30
30 2 15.5 53
45 2 15.5 15
45 2 15.5 20
45 2 15.5 41
45 2 15.5 63
A B C D E rendimiento
0.25 5 30 1 14.5 7
0.75 5 30 1 14.5 9
0.25 10 30 1 14.5 34
0.75 10 30 1 14.5 55
0.25 5 45 1 14.5 16
0.75 5 45 1 14.5 20
0.25 10 45 1 14.5 40
0.75 10 45 1 14.5 60
0.25 5 30 2 14.5 8
0.75 5 30 2 14.5 10
0.25 10 30 2 14.5 32
0.75 10 30 2 14.5 50
0.25 5 45 2 14.5 18
0.75 5 45 2 14.5 21
0.25 10 45 2 14.5 44
0.75 10 45 2 14.5 61
0.25 5 30 1 15.5 18
0.75 5 30 1 15.5 12
0.25 10 30 1 15.5 35
0.75 10 30 1 15.5 52
0.25 5 45 1 15.5 15
0.75 5 45 1 15.5 22
0.25 10 45 1 15.5 45
0.75 10 45 1 15.5 65
0.25 5 30 2 15.5 6
0.75 5 30 2 15.5 10
0.25 10 30 2 15.5 30
0.75 10 30 2 15.5 53
0.25 5 45 2 15.5 15
0.75 5 45 2 15.5 20
0.25 10 45 2 15.5 41
0.75 10 45 2 15.5 63