Ministre de l'enseignement supérieur et de la recherche scientifique

Université Ferhat abbas setif 1

Institut d'optique et mécanique de précision Setif

Compte Rendu de TP :
Ellipsométrie

Encadré par : DR. LAAMECHE H

Sous-groupe 02 :
- Bouguessa Amina
-Sebihi Nesrine -Nouasria Hadil

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 Introduction :
Les couches minces jouent un rôle central dans de nombreux domaines scientifiques et industriels en
raison de leurs propriétés uniques et de leurs applications variées. Ces films de quelques nanomètres à
quelques micromètres d’épaisseur sont largement utilisés dans des secteurs tels que l’optique, l’électronique,
l’énergie, et la protection des surfaces. Leur élaboration et leur caractérisation sont donc des étapes cruciales
pour comprendre et optimiser leurs performances.

Dans ce travail pratique, l’accent est mis sur l’élaboration de couches minces de ZnO (oxyde de zinc) par la
méthode sol-gel, Le ZnO, en tant que matériau semi-conducteur, est connu pour ses propriétés optiques
remarquables, telles que sa transparence dans le domaine visible et son indice de réfraction élevé, ce qui le
rend pertinent pour des applications comme les revêtements anti-reflets, les capteurs, et les dispositifs
photovoltaïques. suivie des caractérisations optiques des couches minces par l’ellipsométrie.

L’objectif de ce TP est double :

1. Élaboration et déposition des couches minces : Étudier le procédé sol-gel, une méthode chimique
simple et efficace permettant d’obtenir des couches homogènes et de bonne qualité.
2. Caractérisation par ellipsométrie : Utiliser cette technique optique pour déterminer des paramètres
essentiels comme l’épaisseur de la couche, l’indice de réfraction (n) et le coefficient d’extinction (k),
qui influencent directement les performances des couches dans leurs applications.

Partie 1 (élaboration et déposition par le procédé sol-gel)

Partie théorique :

Définition : Une couche mince d’un matériau donné est un élément de ce matériau dont l’une des
dimensions (appelée épaisseur) a été fortement réduite. Cette épaisseur (en nanomètres) correspond à la
distance entre deux surfaces limites. Cette structure quasi bidimensionnelle entraîne une perturbation de la
majorité des propriétés physiques.

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Étapes de dépôt d’une couche mince :

-Dans la réalisation d’une couche quel que soit le procédé de déposition, on peut distinguer les quatre étapes
suivantes : 1- la création de la ou des espèces à déposer, sous forme de paquets d’atomes ou de molécules :
clusters (groupes d’atomes ou de molécules), 2- le transport de ces espèces de la source vers le substrat, 3-
la condensation sur le substrat et la croissance de la couche, 4- l’analyse et le contrôle du revêtement
obtenu.

L’oxyde de zinc (ZnO) : Le ZnO est un semi-conducteur de large gap, il est transparent dans le visible
et dans le proche infrarouge. Il présente un ensemble de propriétés qui permettent son utilisation dans un
certain nombre d'applications

Les principaux avantages de ZnO :

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 L’oxyde de zinc existe sous trois formes : massif, couche mince et nanoparticule ; il a des propriétés très
intéressante, il est piézoélectrique, très conducteur, bon absorbant, catalyseur, non toxique et abondant sur
terre. C’est pourquoi, il trouve des applications dans d’innombrables domaines. Son importance ne cesse de
croître rivalisant ainsi avec les matériaux en course pour l’amélioration des nouvelles technologies.

. Quelques méthodes de dépôt des couches minces :

Les couches minces d’oxyde de zinc sont réalisées en utilisant une grande variété de techniques dues à la
diversité des applications de ce matériau. Elles peuvent être obtenues en opérant en phase liquide ou en
phase vapeur, et par des procédés physiques ou chimiques.

Méthode sol gel : Le terme sol-gel correspond à l’abréviation (solution-gélification). Le principe de base
du procédé sol-gel est donc le suivant : une solution à base de précurseurs en phase liquide se transforme en
un solide par un ensemble de réactions chimiques, le plus souvent à température ambiante, d’où le terme de
chimie (douce).

-Dans la réalisation d’une couche mince par voie sol-gel on peut distinguer les trois étapes suivantes :

1. Préparation de la solution de dépôt. 2. Dépôt de couches minces. 3. Traitement thermique.

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Techniques de Spin coating

L’enduction centrifuge ou enduction par centrifugation ou dépôt à la tournette. Dans cette technique,
quelques gouttes de la solution se répondent de façon uniforme sur la surface du substrat grâce à
l’application d’une rotation. Lorsque la vitesse de rotation devient constante l’excès de liquide est éjecté et
la couche déposée devient homogène

II/ Partie expérimentale :

Matériels Utilisés:

 Hotte chimique : pour garantir la sécurité lors de l’utilisation des solvants volatils.
 Béchers: pour les mélanges.
 Spatules et pipettes : pour la manipulation des réactifs.
 Balance électronique : pour peser précisément les réactifs.
 Gants : pour protéger l’utilisateur des produits chimiques.
 Barreaux magnétiques et agitateur magnétique : pour homogénéiser la solution.
 Thermomètre : pour contrôler la température pendant le chauffage.

Produits Chimiques:

 Acétate de zinc d’hydraté : précurseur du ZnO ((CH₃COO)₂·2H₂O).

 Alcool 2-propanol : solvant.
 Diéthanolamine (DEA) : agent complexant et stabilisateur.

Méthodes et Protocole Expérimental :

Étape 1 : Préparation de la Solution Pure :

- Pesée des réactifs :

 Nous pesons précisément 3,3 g d’acétate de zinc dihydraté à l’aide de la balance électronique.
 Nous versons les 70 ml d’alcool 2-propanol dans un bécher propre placé sur un agitateur magnétique.

-Dissolution :
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  Nous ajoutons lentement l’acétate de zinc dans l’alcool tout en agitant avec un barreau magnétique
pour obtenir un mélange homogène.

-Ajout du DEA :

 Nous ajoutons goutte à goutte 2 ml de diéthanolamine (DEA) dans la solution sous agitation
continue.
 Nous observons que la solubilité de l’acétate de zinc s’améliore, le mélange devenant plus clair.

-Chauffage et agitation :

 Nous chauffons la solution à une température contrôlée de 60 °C pendant 2 heures, tout en

continuant l’agitation.
 Nous notons la transformation progressive de la solution : passage d’une phase trouble à une phase
claire et homogène.

-Repos et stabilisation :

 Nous laissons reposer la solution obtenue à température ambiante pendant 24 heures.

 Après stabilisation, le sol est prêt à être utilisé comme solution de dépôt pour le revêtement des
substrats.

4. Résultats et Observations

Observations en cours d'expérience

 Avant agitation :
La solution initiale est trouble en raison de la dissolution incomplète de l’acétate de zinc.
 Après ajout du DEA :
Une amélioration notable de la transparence est observée, ce qui indique que le DEA agit comme un
stabilisateur et améliore la dissolution.
 Pendant le chauffage et l’agitation :
La solution devient complètement transparente, claire et homogène, marquant la réussite de la
réaction chimique.
 Après repos :
La solution obtenue reste stable, ce qui garantit un dépôt uniforme sur les substrats.

Résultats préliminaires:

 Qualité de la solution : La solution est limpide et homogène, adaptée pour le dépôt des couches
minces.
 Stabilité : Après 24 heures de repos, aucune séparation ou précipitation n’est observée, ce qui
indique une stabilité chimique adéquate.

5. Discussion:

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 1. Rôle des composés:
o L’acétate de zinc sert de source pour les ions Zn²⁺ nécessaires à la formation de ZnO.
o L’alcool 2-propanol est un solvant organique permettant une meilleure dispersion du
précurseur.
o Le DEA joue un double rôle : il agit comme stabilisant pour éviter la précipitation prématurée
et améliore la solubilité.
2. Optimisation des paramètres:
o Le chauffage à 60 °C favorise la réaction chimique entre les réactifs et l’homogénéisation de
la solution.
o L’agitation constante permet d’éviter la formation de particules indésirables.
3. Limites et améliorations possibles:
o Une analyse plus approfondie pourrait inclure la caractérisation de la solution (pH, viscosité)
pour mieux contrôler le dépôt.
o Tester la qualité des couches minces sur différents substrats.

Le procédé sol-gel est particulièrement adapté en raison de sa simplicité, de son faible coût et de la
possibilité de contrôler les propriétés des couches déposées.

Nettoyage des Substrats :

Les substrats utilisés ont été soigneusement nettoyés pour garantir une adhérence optimale des couches
minces :

1. Chaque substrat a été immergé dans de l'acétone pendant 15 minutes, puis rincé à l'eau distillée.
2. Les substrats ont ensuite été nettoyés avec de l'éthanol, puis rincés une dernière fois à l'eau distillée
pour éliminer toute trace de graisse et de poussière.

Déposition des Couches Minces

La déposition des couches minces de ZnO a été réalisée en utilisant la méthode dip-coating (trempage-
retrait) :

1. Les substrats préalablement nettoyés ont été immergés lentement dans la solution stabilisée de ZnO.
2. L'immersion a été suivie d’un retrait contrôlé à une vitesse constante, afin d’obtenir une couche
uniforme sur la surface des substrats.

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 3. Une fois la couche déposée, les substrats ont été laissés sécher à température ambiante pour
permettre l'évaporation du solvant.

Ensuite, les substrats ont été soumis à un traitement thermique pour fixer la couche mince :

 Les échantillons ont été chauffés progressivement à 500 °C dans un four pendant 1 heure, afin de
cristalliser les particules de ZnO et d'assurer une bonne adhérence au substrat.

Ce procédé permet de produire des couches minces homogènes, adaptées à des applications variées en
optoélectronique et autres domaines.

La déposition des couches minces a été réalisée en utilisant plusieurs techniques spécifiques,
chacune correspondant à des équipements différents (on va donner un Example avec ZnO)
1.Méthode Dip-Coating (Trempage-Retrait) :
 Machine utilisée: Appareil de dip-coating.
 Procédure:

 Les substrats nettoyés sont immergés lentement dans la solution stabilisée de ZnO.
 Une fois immergés, les substrats sont retirés à une vitesse constante (préalablement réglée par la
machine) pour garantir une couche uniforme.
 Après la déposition, les substrats sont laissés à sécher à température ambiante avant le traitement
thermique.

2.Méthode Spin-Coating (Centrifugation)

 Machine utilisée: Spin-coater.

Procédure :

 Une goutte de la solution de ZnO est déposée au centre du substrat fixé sur le plateau rotatif.
 Le spin-coater fait tourner le substrat à haute vitesse (généralement entre 3000 et 5000 tr/min), ce qui
répartit la solution uniformément sur toute la surface grâce à la force centrifuge.
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  Le substrat est ensuite séché et traité thermiquement.

Méthode Spray Pyrolysis (Pulvérisation):

 Machine utilisée : Pulvérisateur manuel ou automatique avec contrôle de la température de substrat.

Procédure :

 La solution de ZnO est pulvérisée en fines gouttelettes sur des substrats chauffés (généralement entre 300
°C et 400 °C).
 La chaleur du substrat favorise la pyrolyse instantanée des gouttelettes, formant une couche mince
homogène.
 Cette méthode est particulièrement adaptée pour des dépôts sur de grandes surfaces

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 Partie 2 (ellipsométrie):
Partie théorique:
L’Ellipsométrie est une technique optique non destructive utilisée pour caractériser les propriétés des
couches minces, telles que leur épaisseur, leur indice de réfraction, et leur coefficient d’extinction. Elle est
basée sur l’analyse des changements d’état de polarisation d’une lumière réfléchie ou transmise lorsqu’elle
interagit avec un matériau.

Principe de l’Ellipsométrie :

Lorsqu’un faisceau de lumière polarisée est dirigé vers une surface, il subit :

1. Une réflexion (ou une transmission, selon la configuration).

2. Un changement dans son état de polarisation.

-Ces modifications sont décrites par deux grandeurs fondamentales :

 Ψ (psi): Amplitude relative des composantes polarisées parallèle (p) et perpendiculaire (s).
 Δ (delta): Différence de phase entre ces deux composantes.

Ces paramètres sont liés aux propriétés optiques et physiques de la couche mince et du substrat sous-jacent.

Applications de l’Ellipsométrie:

 Mesure d’épaisseur : Caractérisation des films ultra-minces (quelques nanomètres).

 Analyse des indices optiques : Identification des propriétés électroniques et optiques des matériaux.
 Contrôle qualité : Vérification de l’uniformité et de la composition des couches dans des dispositifs
électroniques, optiques, ou photovoltaïques.
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  Études de surfaces : Analyse des traitements de surface et des interfaces entre différentes couches.

Partie pratique :
Le matériel utilisé :
2 Polariseur - 2 Lame quarte d’onde-1 échantillion (couche mince déposé sur un substrat) - 1Photodétecteur

Le montage expérimental :
Utilisé permettant d’obtenir des paramètres ellipso-métriques ψ et Δ de notre échantillon. La source utilisée
est une lumière laser He-Ne de longueur d’onde(λ=632.28nm).

-Le faisceau incident sortant de la Source, traverse initialement un polariseur P1 (sert à maintenir l'état de
polarisation du laser), puis une lame quarte d’onde L1 (utilisée pour modifier l'état de polarisation de la
lumière incidente). Le faisceau lumineux traversant la lame quarte d'onde L1, tombe ensuite sur
l'échantillon. L'intensité réfléchie parce dernier traverse une seconde lame quarte d’onde L2 puis un
deuxièmepolariseurP2.

-Afin de réaliser cette expérience, on a pris un échantillon de verre disposé d’une couche mince.

-On va étudier ce dernier afin de connaître ses caractéristique (indice de réfraction et coefficient
d’absorption).

-Tout d’abord on positionne notre faisceau incident à un angle θ=70°.

On pose notre Polariseur P1 a un angle correspondant à la limite d’atténuation de lumière, en suite en fait
varier notre l’angle de notre analyseur P2 jusqu’à l obtention d’une intensité maximale et on lit notre
premier couple de valeurs.

-Après on fait tourner la lame λ/4 d’un angle de 45° et on refait la même chose pour obtenir le deuxième
couple de valeurs.

-Un photo-détecteur est enfin placé pour capter l’intensité I lumineux sortant du deuxième polariseur
(Analyseur) par rapport l’angle θ de polariseur de sortie

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on obtient les résultats suivants :

ɵ° 0° 2° 4° 12° 16° 20° 24° 28° 32°

I[uA] 4.9 3.2 2.6 2.3 2 2 2.1 2.3 2.4
ɵ° 36° 40° 44° 48° 52° 56° 60° 64° 68°
I[uA] 3.1 3.8 4.4 5.3 6.3 6.2 7.2 8.2 9.2
ɵ° 72° 76° 80° 84° 88° 92° 96° 100° 104°
I[uA] 3.7 5.3 7.4 9.8 12.3 12.1 14.9 17.8 22.1
ɵ° 108° 112° 116° 120° 124° 128° 132° 136° 140
I[uA] 25 27.8 30.5 33.6 36.2 38.2 39 39.6 41.5
ɵ° 144° 148° 152° 156° 160° 164° 168° 172° 176°
I[uA] 43.3 42.1 40.2 41.5 40.8 57.5 35.2 35.3 30.9
ɵ° 180° 184° 188° 192° 196° 200° 204° 208° 212°
I[uA] 28.2 27.3 22.1 20.1 18.4 13.1 12.1 10.9 6.9
ɵ° 216° 220° 224° 228° 232° 236° 240° 244° 248°
I[uA] 4.9 4.7 2 .6 1.3 1 0.9 0.8 0.9 1.2
ɵ° 252° 256° 260° 264° 268° 272° 276° 280° 284°
I[uA] 1.7 2.4 3.3 4.8 7.4 12.5 16.1 15.7 15.9
ɵ° 288° 292° 296° 300° 304° 308° 312° 316° 320°
I[uA] 20.3 25.9 29.2 25.3 28.7 34.4 36.6 34.3 36.8
ɵ° 324 328 332 336° 340 344 348 352 356 360°
° ° ° ° ° ° ° °
I[uA] 41.2 38.8 37.5 40.4 38.6 35.8 35.8 34.6 30.9 28.7

donc on tracer une ellipse par les valeurs obtenues pour préciser les deux angles elliptique Ψ et Δ

On obtient la figure d ellipse suivante :

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Détermination de ѱ et ∆ :
𝒕𝒂𝒏 ∆= 𝟐,𝟗/ 𝟓,𝟑 = 0,54 donc ∆ = 28,36°
𝒕𝒂𝒏Ѱ= 𝟐,𝟐/ 𝟓,𝟑 = 0,41 donc Ѱ = 22,29°
on a la relation , on va trouver n et k :
2 2 2
n −k =sin θ ¿

2 2 sin 4 Ψ sin Δ
2 nk=sin θ tan θ
¿¿

Utilisons :

J'ai remplacé les valeurs dans les équations pour calculer n2 −k 2 et 2nk :

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Résultats finaux :

 n=1.382 et k=0.876

Conclusion :

Au cours de ce travail pratique, nous avons étudié l’élaboration et la caractérisation des couches minces,
mettant en évidence l’importance de ces matériaux dans les domaines scientifiques et technologiques. La
méthode sol-gel, utilisée pour déposer des couches minces de ZnO, a démontré sa simplicité et son efficacité
pour produire des films homogènes, stables et adaptés à diverses applications.

La caractérisation par ellipsométrie a permis de déterminer des paramètres optiques cruciaux, tels que
l’indice de réfraction (n) et le coefficient d’extinction (k), ainsi que l’épaisseur des couches. Ces paramètres
sont essentiels pour comprendre le comportement optique des couches minces et optimiser leurs propriétés
pour des applications spécifiques, notamment en optique, électronique ou photovoltaïque.

Ce TP a ainsi permis de mettre en pratique des techniques modernes de fabrication et de caractérisation, tout
en soulignant l’importance de maîtriser les conditions expérimentales pour obtenir des résultats fiables et
reproductibles. Ces compétences sont indispensables pour le développement de nouveaux matériaux
avancés, contribuant ainsi à répondre aux besoins technologiques et environnementaux actuels.

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