クリーンルームは、クリーンルームパーティションで壁・天井と床材を構成して、HEPAフィルター(超高性能フィルター)を通過した清浄な空気を絶えず供給して部屋内を循環させ、清浄な空間を作り出します。 HEPAフィルタで、空気を浄化します。 浄化した空気を部屋一面に拡散させます。 拡散させた空気を空調機内に取込みます。 取込んだ空気をプレフィルタで、一時濾過します。 プレフィルタで一時濾過された空気を循環ファンでHEPAフィルタに送ります。 室圧を陽圧にするために、外気を一部取り入れます。 まず、最初に循環サイクル・エアーでクリーンルームを形成します。 0.3μm以上の大きさの粒径を99.99%の捕集効率を有するHEPAフィルターにて空気中のゴミや微粒子を捕集して清浄した空気をクリーンルーム室内いっぱいに拡散させます。拡散した室内の空気を空調機の吸い込みに空気を還させます。この流れを循環ファンに